誰知道側(cè)腔式真空泵的原理是什么？

先由轉(zhuǎn)動真空泵把系統(tǒng)抽到10-2帕擴散泵油被加熱沸騰，以高速從噴出的油蒸汽流不斷將系統(tǒng)內(nèi)氣體分子帶到泵的側(cè)臂彎管球泡處集結(jié)，待氣體密度達到機械真空泵的工作范圍而被抽出，從而逐漸獲得高真空。

泵體中裝有適量的水作為工作液。當(dāng)葉輪按圖中順時針方向旋轉(zhuǎn)時，水被葉輪拋向四周，由于離心力的作用，水形成了一個決定于泵腔形狀的近似于等厚度的封閉圓環(huán)。

側(cè)腔式真空泵由于多鰭狀片的葉輪，側(cè)腔式真空泵產(chǎn)生較低振動的空氣吸入，使其廣泛適合于要求精密功能的工業(yè)應(yīng)用。 側(cè)腔式真空泵內(nèi)部由多個圓形空心環(huán)組成，其中一半位于泵房的上下側(cè)，另一半裝于兩面都有通氣的口的葉輪的兩側(cè)。 當(dāng)葉輪旋轉(zhuǎn)，每個空心環(huán)或氣室捕獲的空氣向外沖，隨后由離心力壓縮，進入側(cè)腔，然后以螺旋式運動方式進入下一個氣室。重復(fù)多次后，空氣在葉輪的整個旋轉(zhuǎn)過程中被壓縮多次。更多內(nèi)容可以到貝克牌氣泵設(shè)備了解一下。